Bilik bersih juga dipanggil bilik bebas habuk. Ia digunakan untuk mengeluarkan bahan pencemar seperti zarah habuk, udara berbahaya, dan bakteria di udara dalam ruang tertentu, dan untuk mengawal suhu dalaman, kebersihan, tekanan dalaman, halaju aliran udara dan pengagihan aliran udara, getaran bunyi, pencahayaan, dan elektrik statik dalam julat tertentu. Perkara berikut terutamanya menerangkan empat syarat yang diperlukan untuk mencapai keperluan kebersihan dalam langkah pembersihan bilik bersih.
1. Kebersihan bekalan udara
Untuk memastikan kebersihan bekalan udara memenuhi keperluan, kuncinya ialah prestasi dan pemasangan penapis akhir sistem penulenan. Penapis akhir sistem bilik bersih biasanya menggunakan penapis hepa atau penapis sub-hepa. Menurut piawaian kebangsaan, kecekapan penapis hepa dibahagikan kepada empat gred: Kelas A ialah ≥99.9%, Kelas B ialah ≥99.99%, Kelas C ialah ≥99.999%, Kelas D ialah (untuk zarah ≥0.1μm) ≥99.999% (juga dikenali sebagai penapis ultra-hepa); penapis sub-hepa adalah (untuk zarah ≥0.5μm) 95~99.9%.
2. Organisasi aliran udara
Organisasi aliran udara bilik bersih adalah berbeza daripada bilik berhawa dingin umum. Ia memerlukan udara paling bersih dihantar ke kawasan operasi terlebih dahulu. Fungsinya adalah untuk mengehadkan dan mengurangkan pencemaran objek yang diproses. Organisasi aliran udara yang berbeza mempunyai ciri dan skop tersendiri: Aliran satu arah menegak: Kedua-duanya boleh memperoleh aliran udara ke bawah yang seragam, memudahkan susun atur peralatan proses, mempunyai keupayaan pembersihan diri yang kuat, dan boleh memudahkan kemudahan umum seperti kemudahan bilik bersih peribadi. Empat kaedah bekalan udara juga mempunyai kelebihan dan kelemahan mereka sendiri: penapis hepa yang dilindungi sepenuhnya mempunyai kelebihan rintangan rendah dan kitaran penggantian penapis yang panjang, tetapi struktur siling adalah kompleks dan kosnya tinggi; kebaikan dan keburukan penghantaran atas penapis hepa yang dilindungi sisi dan penghantaran atas plat lubang penuh adalah bertentangan dengan penghantaran atas penapis hepa yang dilindungi sepenuhnya. Antaranya, penghantaran atas plat lubang penuh terdedah kepada pengumpulan habuk pada permukaan dalaman plat orifis apabila sistem tidak berjalan secara berterusan, dan penyelenggaraan yang lemah akan memberi sedikit kesan ke atas kebersihan; penghantaran atas penyebar padat memerlukan lapisan pencampuran, jadi ia hanya sesuai untuk bilik bersih tinggi melebihi 4m, dan ciri-cirinya adalah serupa dengan penghantaran atas plat lubang penuh; kaedah udara balik untuk plat dengan jeriji di kedua-dua belah dan saluran keluar udara balik yang disusun sama rata di bahagian bawah dinding di kedua-dua belah hanya sesuai untuk bilik bersih dengan jarak bersih kurang daripada 6m pada kedua-dua belah; alur keluar udara kembali di bahagian bawah dinding satu sisi hanya sesuai untuk bilik bersih dengan jarak kecil antara dinding (seperti ≤2~3m). Aliran satu arah mendatar: hanya kawasan kerja pertama yang mencapai tahap kebersihan 100. Apabila udara mengalir ke sisi lain, kepekatan habuk secara beransur-ansur meningkat. Oleh itu, ia hanya sesuai untuk bilik bersih dengan keperluan kebersihan yang berbeza untuk proses yang sama. Pengedaran tempatan penapis hepa pada dinding bekalan udara boleh mengurangkan penggunaan penapis hepa dan menjimatkan pelaburan awal, tetapi terdapat pusaran di kawasan tempatan. Aliran udara bergelora: Ciri-ciri penghantaran atas plat orifis dan penghantaran atas peresap padat adalah sama seperti yang dinyatakan di atas. Kelebihan penghantaran sampingan adalah susun atur saluran paip yang mudah, tiada interlayer teknikal, kos rendah, dan kondusif untuk pengubahsuaian kilang lama. Kelemahannya ialah kelajuan angin di kawasan kerja adalah besar, dan kepekatan habuk di bahagian bawah angin lebih tinggi daripada di bahagian atas angin. Penghantaran atas saluran penapis hepa mempunyai kelebihan sistem yang mudah, tiada saluran paip di belakang penapis hepa, dan aliran udara bersih terus dihantar ke kawasan kerja, tetapi aliran udara bersih meresap perlahan dan aliran udara di kawasan kerja lebih seragam. Walau bagaimanapun, apabila berbilang saluran keluar udara disusun sama rata atau saluran keluar penapis hepa dengan penyebar digunakan, aliran udara di kawasan kerja juga boleh dibuat lebih seragam. Walau bagaimanapun, apabila sistem tidak berjalan secara berterusan, penyebar terdedah kepada pengumpulan habuk.
3. Isipadu bekalan udara atau halaju udara
Isipadu pengudaraan yang mencukupi adalah untuk mencairkan dan mengeluarkan udara tercemar dalaman. Mengikut keperluan kebersihan yang berbeza, apabila ketinggian bersih bilik bersih adalah tinggi, kekerapan pengudaraan perlu ditingkatkan dengan sewajarnya. Antaranya, jumlah pengudaraan 1 juta bilik bersih dianggap mengikut sistem bilik bersih kecekapan tinggi, dan selebihnya dipertimbangkan mengikut sistem bilik bersih kecekapan tinggi; apabila penapis hepa bagi kelas 100,000 bilik bersih tertumpu di dalam bilik mesin atau penapis sub-hepa digunakan pada penghujung sistem, kekerapan pengudaraan boleh ditingkatkan dengan sewajarnya sebanyak 10% hingga 20%.
4. Perbezaan tekanan statik
Mengekalkan tekanan positif tertentu dalam bilik bersih adalah salah satu syarat penting untuk memastikan bilik bersih tidak atau kurang tercemar untuk mengekalkan tahap kebersihan yang direka bentuk. Walaupun untuk bilik bersih tekanan negatif, ia mesti mempunyai bilik atau suite bersebelahan dengan tahap kebersihan tidak lebih rendah daripada tahapnya untuk mengekalkan tekanan positif tertentu, supaya kebersihan bilik bersih tekanan negatif dapat dikekalkan. Nilai tekanan positif bilik bersih merujuk kepada nilai apabila tekanan statik dalaman lebih besar daripada tekanan statik luar apabila semua pintu dan tingkap ditutup. Ia dicapai dengan kaedah bahawa isipadu bekalan udara sistem penulenan adalah lebih besar daripada isipadu udara balik dan isipadu udara ekzos. Untuk memastikan nilai tekanan positif bilik bersih, adalah lebih baik untuk saling kunci bekalan udara, udara kembali dan kipas ekzos. Apabila sistem dihidupkan, kipas bekalan dimulakan dahulu, dan kemudian kipas kembali dan kipas ekzos dimulakan; apabila sistem dimatikan, kipas ekzos dimatikan dahulu, dan kemudian kipas kembali dan kipas bekalan dimatikan untuk mengelakkan bilik bersih daripada tercemar apabila sistem dihidupkan dan dimatikan. Isipadu udara yang diperlukan untuk mengekalkan tekanan positif bilik bersih terutamanya ditentukan oleh ketat struktur penyelenggaraan. Pada peringkat awal pembinaan bilik bersih di China, disebabkan oleh ketatnya struktur kepungan, ia mengambil 2~6 kali/j bekalan udara untuk mengekalkan tekanan positif ≥5Pa; pada masa ini, ketegangan struktur penyelenggaraan telah bertambah baik, dan hanya memerlukan 1~2 kali/j bekalan udara untuk mengekalkan tekanan positif yang sama; ia hanya mengambil 2~3 kali/j bekalan udara untuk mengekalkan ≥10Pa. Spesifikasi reka bentuk nasional menetapkan bahawa perbezaan tekanan statik antara bilik bersih dengan tahap berbeza dan antara kawasan bersih dan kawasan tidak bersih tidak boleh kurang daripada 0.5mmH2O (~5Pa), dan perbezaan tekanan statik antara kawasan bersih dan luar tidak boleh kurang daripada 1.0mmH2O (~10Pa).
Masa siaran: Mac-03-2025