Hasil cip dalam industri pembuatan cip berkait rapat dengan saiz dan bilangan zarah udara yang didepositkan pada cip. Organisasi aliran udara yang baik boleh mengambil zarah yang dihasilkan daripada sumber habuk dari bilik bersih dan memastikan kebersihan bilik bersih. Iaitu, organisasi aliran udara dalam bilik bersih memainkan peranan penting dalam hasil pengeluaran cip. Matlamat yang perlu dicapai dalam reka bentuk organisasi aliran udara bilik bersih adalah: untuk mengurangkan atau menghapuskan arus pusar dalam medan aliran untuk mengelakkan pengekalan zarah berbahaya; untuk mengekalkan kecerunan tekanan positif yang sesuai untuk mengelakkan pencemaran silang.
Menurut prinsip bilik bersih, daya yang bertindak pada zarah termasuk daya jisim, daya molekul, tarikan antara zarah, daya aliran udara, dll.
Daya aliran udara: merujuk kepada daya aliran udara yang disebabkan oleh aliran udara bekalan dan pulangan, aliran udara perolakan haba, pergolakan buatan, dan aliran udara lain dengan kadar aliran tertentu untuk membawa zarah. Untuk kawalan teknologi persekitaran bilik bersih, daya aliran udara adalah faktor yang paling penting.
Eksperimen telah menunjukkan bahawa dalam pergerakan aliran udara, zarah mengikuti aliran udara pada kelajuan yang hampir sama. Keadaan zarah dalam udara ditentukan oleh pengagihan aliran udara. Kesan utama aliran udara pada zarah dalaman termasuk: aliran udara bekalan udara (termasuk aliran udara primer dan aliran udara sekunder), aliran udara dan aliran udara perolakan haba yang disebabkan oleh orang berjalan, dan kesan aliran udara pada zarah yang disebabkan oleh operasi proses dan peralatan industri. Kaedah bekalan udara yang berbeza, antara muka kelajuan, pengendali dan peralatan perindustrian, fenomena teraruh, dll dalam bilik bersih adalah semua faktor yang mempengaruhi tahap kebersihan.
1. Pengaruh kaedah bekalan udara
(1) Kelajuan bekalan udara
Untuk memastikan aliran udara seragam, kelajuan bekalan udara di dalam bilik bersih aliran satu arah mestilah seragam; zon mati pada permukaan bekalan udara mestilah kecil; dan penurunan tekanan dalam penapis hepa juga mestilah seragam.
Kelajuan bekalan udara adalah seragam: iaitu, ketidaksamaan aliran udara dikawal dalam ±20%.
Terdapat kurang ruang mati pada permukaan bekalan udara: bukan sahaja luas satah bingkai hepa perlu dikurangkan, tetapi yang lebih penting, FFU modular harus digunakan untuk memudahkan bingkai berlebihan.
Untuk memastikan aliran udara menegak dan satu arah, pemilihan penurunan tekanan penapis juga sangat penting, dan kehilangan tekanan dalam penapis tidak boleh berat sebelah.
(2) Perbandingan antara sistem FFU dan sistem kipas aliran paksi
FFU ialah unit bekalan udara dengan kipas dan penapis hepa. Udara disedut masuk oleh kipas emparan FFU dan menukar tekanan dinamik kepada tekanan statik dalam saluran udara. Ia dihembus sama rata oleh penapis hepa. Tekanan bekalan udara pada siling adalah tekanan negatif. Dengan cara ini tiada habuk akan bocor ke dalam bilik bersih apabila menggantikan penapis. Eksperimen telah menunjukkan bahawa sistem FFU adalah lebih baik daripada sistem kipas aliran paksi dari segi keseragaman saluran keluar udara, keselarian aliran udara dan indeks kecekapan pengudaraan. Ini kerana keselarian aliran udara sistem FFU adalah lebih baik. Penggunaan sistem FFU boleh meningkatkan organisasi aliran udara di dalam bilik bersih.
(3) Pengaruh struktur FFU sendiri
FFU terutamanya terdiri daripada kipas, penapis, panduan aliran udara dan komponen lain. Penapis hepa adalah jaminan paling penting untuk bilik bersih untuk mencapai kebersihan yang diperlukan yang diperlukan oleh reka bentuk. Bahan penapis juga akan menjejaskan keseragaman medan aliran. Apabila bahan penapis kasar atau plat aliran ditambah ke saluran keluar penapis, medan aliran keluar boleh dibuat seragam dengan mudah.
2. Kesan antara muka kelajuan dengan kebersihan yang berbeza
Di dalam bilik bersih yang sama, antara kawasan kerja dan kawasan tidak berfungsi dengan aliran satu arah menegak, disebabkan oleh perbezaan kelajuan udara pada kotak hepa, kesan pusaran bercampur akan berlaku pada antara muka, dan antara muka ini akan menjadi gelora. zon aliran udara. Keamatan pergolakan udara sangat kuat, dan zarah boleh dihantar ke permukaan mesin peralatan dan mencemarkan peralatan dan wafer.
3. Kesan kepada kakitangan dan peralatan
Apabila bilik bersih kosong, ciri aliran udara di dalam bilik biasanya memenuhi keperluan reka bentuk. Sebaik sahaja peralatan memasuki bilik bersih, orang ramai bergerak, dan produk diangkut, pasti terdapat halangan kepada organisasi aliran udara, seperti mata tajam yang menonjol dari mesin peralatan. Di sudut atau tepi, gas akan melencong membentuk kawasan aliran bergelora, dan bendalir di kawasan itu tidak akan mudah dibawa oleh gas yang masuk, sekali gus menyebabkan pencemaran.
Pada masa yang sama, permukaan peralatan mekanikal akan dipanaskan kerana operasi berterusan, dan kecerunan suhu akan menyebabkan kawasan aliran semula berhampiran mesin, yang meningkatkan pengumpulan zarah dalam kawasan aliran semula. Pada masa yang sama, suhu yang tinggi akan menyebabkan zarah-zarah terlepas dengan mudah. Kesan dwi meningkatkan keseluruhan lapisan menegak. Kesukaran mengawal kebersihan sungai. Debu daripada operator di dalam bilik bersih boleh melekat dengan mudah pada wafer di kawasan aliran semula ini.
4. Pengaruh lantai udara kembali
Apabila rintangan udara kembali yang melalui lantai adalah berbeza, perbezaan tekanan akan berlaku, menyebabkan udara mengalir ke arah rintangan kecil, dan aliran udara seragam tidak akan diperolehi. Kaedah reka bentuk popular semasa adalah menggunakan lantai bertingkat. Apabila nisbah pembukaan lantai bertingkat adalah pada 10%, halaju aliran udara boleh diagihkan sama rata pada ketinggian kerja dalaman. Di samping itu, perhatian yang ketat harus diberikan kepada kerja pembersihan untuk mengurangkan punca pencemaran di lantai.
5. Fenomena aruhan
Fenomena aruhan yang dipanggil merujuk kepada fenomena penjanaan aliran udara dalam arah yang bertentangan dengan aliran seragam, mendorong habuk yang dihasilkan di dalam bilik atau habuk di kawasan tercemar bersebelahan ke bahagian atas angin, dengan itu menyebabkan habuk mencemari wafer. Fenomena teraruh yang mungkin termasuk yang berikut:
(1) Pinggan buta
Di dalam bilik bersih dengan aliran sehala menegak, disebabkan oleh sambungan pada dinding, biasanya terdapat panel buta besar yang akan menghasilkan aliran bergelora dan aliran balik tempatan.
(2) Lampu
Lekapan lampu di dalam bilik bersih akan memberi kesan yang lebih besar. Oleh kerana haba lampu pendarfluor menyebabkan aliran udara meningkat, lampu pendarfluor tidak akan menjadi kawasan bergelora. Secara amnya, lampu dalam bilik bersih direka bentuk dalam bentuk titisan air mata untuk mengurangkan kesan lampu pada organisasi aliran udara.
(3) Jurang antara dinding
Apabila terdapat jurang antara dinding sekatan atau siling dengan keperluan kebersihan yang berbeza, habuk dari kawasan yang mempunyai keperluan kebersihan rendah boleh dipindahkan ke kawasan bersebelahan dengan keperluan kebersihan yang tinggi.
(4) Jarak antara peralatan mekanikal dengan lantai atau dinding
Jika jurang antara peralatan mekanikal dan lantai atau dinding adalah kecil, pergolakan lantunan akan berlaku. Oleh itu, tinggalkan jurang antara peralatan dan dinding dan naikkan platform mesin untuk mengelakkan sentuhan langsung dengan tanah.
Masa siaran: Nov-02-2023