Hasil cip dalam industri pembuatan cip berkait rapat dengan saiz dan bilangan zarah udara yang didepositkan pada cip. Organisasi aliran udara yang baik boleh mengambil zarah yang dihasilkan dari sumber debu dari bilik bersih dan memastikan kebersihan bilik bersih. Iaitu, organisasi aliran udara di bilik bersih memainkan peranan penting dalam hasil pengeluaran cip. Matlamat yang akan dicapai dalam reka bentuk organisasi aliran udara bersih adalah: untuk mengurangkan atau menghapuskan arus eddy dalam medan aliran untuk mengelakkan pengekalan zarah berbahaya; untuk mengekalkan kecerunan tekanan positif yang sesuai untuk mencegah pencemaran silang.
Menurut prinsip bilik bersih, daya yang bertindak pada zarah termasuk daya massa, daya molekul, tarikan antara zarah, daya aliran udara, dll.
Daya aliran udara: merujuk kepada daya aliran udara yang disebabkan oleh aliran udara bekalan dan pulangan, aliran udara konveksi haba, pergolakan buatan, dan aliran udara lain dengan kadar aliran tertentu untuk membawa zarah. Untuk kawalan teknologi alam sekitar yang bersih, daya aliran udara adalah faktor yang paling penting.
Eksperimen telah menunjukkan bahawa dalam pergerakan aliran udara, zarah mengikuti aliran udara pada hampir sama dengan kelajuan yang sama. Keadaan zarah di udara ditentukan oleh pengedaran aliran udara. Kesan utama aliran udara pada zarah -zarah dalaman termasuk: aliran udara bekalan udara (termasuk aliran udara utama dan aliran udara menengah), aliran udara dan aliran udara konveksi haba yang disebabkan oleh orang yang berjalan, dan kesan aliran udara pada zarah yang disebabkan oleh operasi proses dan peralatan perindustrian. Kaedah bekalan udara yang berbeza, antara muka kelajuan, pengendali dan peralatan perindustrian, fenomena yang disebabkan, dan lain -lain dalam bilik bersih adalah semua faktor yang mempengaruhi tahap kebersihan.
1. Pengaruh kaedah bekalan udara
(1) kelajuan bekalan udara
Untuk memastikan aliran udara seragam, kelajuan bekalan udara di bilik bersih aliran unidirectional mestilah seragam; Zon mati di permukaan bekalan udara mestilah kecil; Dan penurunan tekanan dalam penapis HEPA juga mesti seragam.
Kelajuan bekalan udara adalah seragam: iaitu, ketidakpastian aliran udara dikawal dalam ± 20%.
Terdapat ruang yang kurang mati di permukaan bekalan udara: Bukan sahaja kawasan pesawat bingkai HEPA dikurangkan, tetapi lebih penting lagi, FFU modular harus digunakan untuk memudahkan bingkai yang berlebihan.
Untuk memastikan bahawa aliran udara adalah menegak dan satu arah, pemilihan penurunan tekanan penapis juga sangat penting, dan diperlukan bahawa kehilangan tekanan dalam penapis tidak boleh berat sebelah.
(2) Perbandingan antara sistem FFU dan sistem kipas aliran paksi
FFU adalah unit bekalan udara dengan penapis kipas dan HEPA. Udara disedut oleh kipas sentrifugal FFU dan menukarkan tekanan dinamik ke dalam tekanan statik di saluran udara. Ia ditiup sama rata oleh penapis HEPA. Tekanan bekalan udara pada siling adalah tekanan negatif. Dengan cara ini tiada habuk akan bocor ke bilik bersih apabila menggantikan penapis. Eksperimen telah menunjukkan bahawa sistem FFU lebih tinggi daripada sistem kipas aliran paksi dari segi keseragaman saluran udara, paralelisme aliran udara dan indeks kecekapan pengudaraan. Ini kerana paralelisme aliran udara sistem FFU lebih baik. Penggunaan sistem FFU dapat meningkatkan organisasi aliran udara di bilik bersih.
(3) Pengaruh struktur FFU sendiri
FFU terutamanya terdiri daripada peminat, penapis, panduan aliran udara dan komponen lain. Penapis HEPA adalah jaminan yang paling penting untuk bilik bersih untuk mencapai kebersihan yang diperlukan oleh reka bentuk. Bahan penapis juga akan menjejaskan keseragaman medan aliran. Apabila bahan penapis kasar atau plat aliran ditambahkan ke saluran penapis, medan aliran outlet dapat dengan mudah dibuat seragam.
2. Kesan antara muka kelajuan dengan kebersihan yang berbeza
Di dalam bilik bersih yang sama, di antara kawasan kerja dan kawasan yang tidak berfungsi dengan aliran unidirectional menegak, kerana perbezaan kelajuan udara di kotak HEPA, kesan vorteks campuran akan berlaku di antara muka, dan antara muka ini akan menjadi bergolak zon aliran udara. Keamatan pergolakan udara sangat kuat, dan zarah boleh dihantar ke permukaan mesin peralatan dan mencemarkan peralatan dan wafer.
3. Kesan terhadap kakitangan dan peralatan
Apabila bilik bersih kosong, ciri -ciri aliran udara di dalam bilik umumnya memenuhi keperluan reka bentuk. Sebaik sahaja peralatan memasuki bilik bersih, orang bergerak, dan produk diangkut, terdapat halangan yang tidak dapat dielakkan ke organisasi aliran udara, seperti titik tajam yang menonjol dari mesin peralatan. Di sudut atau tepi, gas akan mengalihkan untuk membentuk kawasan aliran bergelora, dan cecair di kawasan itu tidak akan mudah dibawa oleh gas masuk, sehingga menyebabkan pencemaran.
Pada masa yang sama, permukaan peralatan mekanikal akan dipanaskan kerana operasi berterusan, dan kecerunan suhu akan menyebabkan kawasan reflow berhampiran mesin, yang meningkatkan pengumpulan zarah di kawasan reflow. Pada masa yang sama, suhu tinggi dengan mudah akan menyebabkan zarah melarikan diri. Kesan dwi meningkatkan lapisan menegak keseluruhan. Kesukaran mengawal kebersihan aliran. Debu dari pengendali di bilik bersih dapat dengan mudah mematuhi wafer di kawasan reflow ini.
4. Pengaruh lantai udara kembali
Apabila rintangan udara kembali melalui lantai adalah berbeza, perbezaan tekanan akan berlaku, menyebabkan udara mengalir ke arah rintangan kecil, dan aliran udara seragam tidak akan diperolehi. Kaedah reka bentuk popular semasa adalah menggunakan lantai yang tinggi. Apabila nisbah pembukaan lantai tinggi adalah 10%, halaju aliran udara boleh diedarkan secara merata di ketinggian kerja dalaman. Di samping itu, perhatian yang ketat perlu dibayar untuk membersihkan kerja untuk mengurangkan sumber pencemaran di lantai.
5. Fenomena Induksi
Fenomena induksi yang dipanggil merujuk kepada fenomena menghasilkan aliran udara ke arah yang bertentangan dengan aliran seragam, mendorong habuk yang dihasilkan di dalam bilik atau habuk di kawasan yang tercemar bersebelahan ke bahagian atas angin, sehingga menyebabkan debu untuk mencemarkan wafer. Fenomena yang mungkin disebabkan termasuk yang berikut:
(1) plat buta
Di dalam bilik yang bersih dengan aliran satu arah menegak, disebabkan oleh sendi di dinding, terdapat panel buta besar yang akan menghasilkan aliran bergelora dan aliran balik tempatan.
(2) lampu
Lekapan pencahayaan di bilik bersih akan memberi impak yang lebih besar. Oleh kerana panas lampu pendarfluor menyebabkan aliran udara meningkat, lampu pendarfluor tidak akan menjadi kawasan bergelora. Umumnya, lampu di bilik bersih direka bentuk dalam bentuk air mata untuk mengurangkan kesan lampu pada organisasi aliran udara.
(3) jurang antara dinding
Apabila terdapat jurang antara dinding partition atau siling dengan keperluan kebersihan yang berbeza, habuk dari kawasan dengan keperluan kebersihan yang rendah boleh dipindahkan ke kawasan bersebelahan dengan keperluan kebersihan yang tinggi.
(4) Jarak antara peralatan mekanikal dan lantai atau dinding
Jika jurang antara peralatan mekanikal dan lantai atau dinding kecil, pergolakan rebound akan berlaku. Oleh itu, biarkan jurang antara peralatan dan dinding dan angkat platform mesin untuk mengelakkan hubungan langsung dengan tanah.
Masa Post: Nov-02-2023