Kadar hasil cip dalam industri pembuatan IC berkait rapat dengan saiz dan bilangan zarah udara yang disimpan pada cip. Organisasi aliran udara yang baik boleh mengambil zarah -zarah yang dihasilkan oleh sumber debu dari bilik bersih untuk memastikan kebersihan bilik bersih, iaitu organisasi aliran udara di bilik bersih memainkan peranan penting dalam kadar hasil pengeluaran IC. Reka bentuk organisasi aliran udara di bilik bersih perlu mencapai matlamat berikut: Mengurangkan atau menghapuskan arus eddy dalam medan aliran untuk mengelakkan pengekalan zarah berbahaya; Mengekalkan kecerunan tekanan positif yang sesuai untuk mencegah pencemaran silang.
Daya aliran udara
Menurut prinsip bilik bersih, daya yang bertindak pada zarah termasuk kekuatan massa, daya molekul, tarikan antara zarah, daya aliran udara, dll.
Daya aliran udara: merujuk kepada daya aliran udara yang disebabkan oleh penghantaran, aliran udara kembali, aliran udara konveksi terma, pengadukan buatan, dan aliran udara lain dengan kadar aliran tertentu untuk membawa zarah. Untuk kawalan teknikal persekitaran bilik bersih, daya aliran udara adalah faktor yang paling penting.
Eksperimen telah menunjukkan bahawa dalam pergerakan aliran udara, zarah mengikuti pergerakan aliran udara pada kelajuan yang hampir sama. Keadaan zarah di udara ditentukan oleh pengedaran aliran udara. Aliran udara yang mempengaruhi zarah -zarah dalaman terutamanya termasuk: aliran udara bekalan udara (termasuk aliran udara utama dan aliran udara menengah), aliran udara dan aliran udara konveksi haba yang disebabkan oleh orang yang berjalan, dan aliran udara yang disebabkan oleh operasi proses dan peralatan perindustrian. Kaedah bekalan udara yang berbeza, antara muka kelajuan, pengendali dan peralatan perindustrian, dan fenomena yang diinduksi di bilik bersih adalah semua faktor yang mempengaruhi tahap kebersihan.
Faktor yang mempengaruhi organisasi aliran udara
1. Pengaruh kaedah bekalan udara
(1). Kelajuan bekalan udara
Untuk memastikan aliran udara seragam, kelajuan bekalan udara mestilah seragam di dalam bilik bersih satu arah; Zon mati permukaan bekalan udara mestilah kecil; dan penurunan tekanan dalam ULPA juga mesti seragam.
Kelajuan bekalan udara seragam: Iaitu, ketidaksamaan aliran udara dikawal dalam ± 20%.
Kurang zon mati di permukaan bekalan udara: Bukan sahaja kawasan pesawat bingkai ULPA dikurangkan, tetapi lebih penting lagi, FFU modular harus digunakan untuk memudahkan bingkai yang berlebihan.
Untuk memastikan aliran udara unidirectional menegak, pemilihan penurunan tekanan penapis juga sangat penting, yang memerlukan kehilangan tekanan dalam penapis tidak dapat menyimpang.
(2). Perbandingan antara sistem FFU dan sistem kipas aliran paksi
FFU adalah unit bekalan udara dengan kipas dan penapis (ULPA). Selepas udara disedut oleh kipas FFU, tekanan dinamik ditukar menjadi tekanan statik dalam saluran udara dan ditiup sama rata oleh ULPA. Tekanan bekalan udara pada siling adalah tekanan negatif, supaya tiada habuk akan bocor ke dalam bilik bersih apabila penapis diganti. Eksperimen telah menunjukkan bahawa sistem FFU lebih tinggi daripada sistem kipas aliran paksi dari segi keseragaman saluran udara, paralelisme aliran udara dan indeks kecekapan pengudaraan. Ini kerana paralelisme aliran udara sistem FFU lebih baik. Penggunaan sistem FFU boleh membuat aliran udara di bilik bersih lebih teratur.
(3). Pengaruh struktur FFU sendiri
FFU terutamanya terdiri daripada peminat, penapis, peranti panduan aliran udara dan komponen lain. ULPA penapis kecekapan ultra tinggi adalah jaminan yang paling penting bagi sama ada bilik bersih dapat mencapai kebersihan yang diperlukan reka bentuk. Bahan penapis juga akan menjejaskan keseragaman medan aliran. Apabila bahan penapis kasar atau plat aliran laminar ditambahkan ke saluran penapis, medan aliran outlet dapat dengan mudah dibuat seragam.
2. Kesan antara muka kebersihan yang berbeza
Di dalam bilik bersih yang sama, di antara kawasan kerja dan kawasan yang tidak berfungsi dengan aliran unidirectional menegak, disebabkan oleh perbezaan kelajuan udara di outlet ULPA, kesan vorteks campuran akan dihasilkan di antara muka, dan antara muka ini akan menjadi bergolak Zon aliran udara dengan intensiti pergolakan udara yang tinggi. Zarah boleh dihantar ke permukaan peralatan dan mencemarkan peralatan dan wafer.
3. Kesan kakitangan dan peralatan
Apabila bilik bersih kosong, ciri -ciri aliran udara di dalam bilik umumnya memenuhi keperluan reka bentuk. Sebaik sahaja peralatan memasuki bilik yang bersih, langkah kakitangan dan produk dihantar, tidak dapat dielakkan akan menjadi halangan kepada organisasi aliran udara. Sebagai contoh, di sudut -sudut yang menonjol atau tepi peralatan, gas akan dialihkan untuk membentuk zon bergelora, dan cecair di zon tidak mudah dibawa oleh gas, sehingga menyebabkan pencemaran. Pada masa yang sama, permukaan peralatan akan dipanaskan kerana operasi berterusan, dan kecerunan suhu akan menyebabkan zon reflow berhampiran mesin, yang akan meningkatkan pengumpulan zarah di zon reflow. Pada masa yang sama, suhu tinggi dengan mudah akan menyebabkan zarah melarikan diri. Kesan dua memburukkan kesukaran mengawal kebersihan laminar menegak keseluruhan. Debu dari pengendali di bilik bersih sangat mudah untuk mematuhi wafer di zon reflow ini.
4. Pengaruh lantai udara kembali
Apabila rintangan udara kembali melalui lantai adalah berbeza, perbezaan tekanan akan dihasilkan, supaya udara akan mengalir ke arah rintangan yang kurang, dan aliran udara seragam tidak akan diperolehi. Kaedah reka bentuk popular semasa adalah menggunakan lantai tinggi. Apabila kadar pembukaan lantai tinggi adalah 10%, halaju aliran udara di ketinggian kerja bilik boleh diedarkan secara merata. Di samping itu, perhatian yang ketat harus dibayar untuk membersihkan kerja untuk mengurangkan sumber pencemaran lantai.
5. Fenomena Induksi
Fenomena induksi yang dipanggil merujuk kepada fenomena bahawa aliran udara ke arah yang bertentangan aliran seragam dihasilkan, dan habuk yang dihasilkan di dalam bilik atau habuk di kawasan yang tercemar bersebelahan diarahkan ke sisi angin, sehingga habuk boleh mencemarkan cip. Berikut adalah fenomena induksi yang mungkin:
(1). Plat buta
Di dalam bilik yang bersih dengan aliran unidirectional menegak, disebabkan oleh sendi di dinding, terdapat plat buta besar yang akan menghasilkan pergolakan dalam aliran pulangan tempatan.
(2). Lampu
Lekapan pencahayaan di bilik bersih akan memberi impak yang lebih besar. Oleh kerana panas lampu pendarfluor menyebabkan aliran udara naik, tidak akan ada kawasan bergelora di bawah lampu pendarfluor. Umumnya, lampu di bilik bersih direka dalam bentuk air mata untuk mengurangkan kesan lampu pada organisasi aliran udara.
(3.) jurang antara dinding
Apabila terdapat jurang antara partisi dengan tahap kebersihan yang berbeza atau antara partisi dan siling, habuk dari kawasan dengan keperluan kebersihan yang rendah dapat dipindahkan ke kawasan bersebelahan dengan keperluan kebersihan yang tinggi.
(4). Jarak antara mesin dan lantai atau dinding
Jika jurang antara mesin dan lantai atau dinding sangat kecil, ia akan menyebabkan pergolakan rebound. Oleh itu, biarkan jurang antara peralatan dan dinding dan angkat mesin untuk mengelakkan membiarkan mesin menyentuh tanah secara langsung.
Masa Post: Feb-05-2025