Selain kawalan zarah yang ketat, bengkel pengeluaran cip, bengkel bebas habuk litar bersepadu dan bengkel pembuatan cakera yang diwakili oleh bilik bersih elektronik juga mempunyai keperluan yang lebih ketat untuk kawalan suhu dan kelembapan, pencahayaan dan kejutan mikro. Menghapuskan kesan elektrik statik pada produk pengeluaran dengan ketat, supaya persekitaran dapat memenuhi keperluan proses pengeluaran produk elektronik dalam persekitaran yang bersih.
Suhu dan kelembapan bilik bersih elektronik harus ditentukan mengikut keperluan proses pengeluaran. Apabila tiada keperluan khusus untuk proses pengeluaran, suhu boleh berada pada 20-26°C dan kelembapan relatif adalah 30%-70%. Suhu bilik bersih kakitangan dan ruang tamu boleh berada pada 16-28℃. Menurut piawaian kebangsaan China GB-50073, yang selaras dengan piawaian ISO antarabangsa, tahap kebersihan bilik bersih jenis ini ialah 1-9. Antaranya, kelas 1-5, corak aliran udara adalah aliran sehala atau aliran campuran; corak aliran udara kelas 6 adalah aliran bukan sehala dan pertukaran udara adalah 50-60 kali/jam; jenis aliran udara kelas 7 adalah aliran bukan sehala, dan pertukaran udara adalah 15-25 kali/jam; jenis aliran udara kelas 8-9 adalah aliran bukan sehala, pertukaran udara adalah 10-15 kali/jam.
Mengikut spesifikasi semasa, tahap hingar dalam bilik bersih elektronik kelas 10,000 tidak boleh melebihi 65dB(A).
1. Nisbah penuh bilik bersih aliran menegak dalam bilik bersih elektronik tidak boleh kurang daripada 60%, dan bilik bersih aliran sehala mendatar tidak boleh kurang daripada 40%, jika tidak, ia akan menjadi aliran sehala separa.
2. Perbezaan tekanan statik antara bilik bersih elektronik dan luar tidak boleh kurang daripada 10Pa, dan perbezaan tekanan statik antara kawasan bersih dan kawasan tidak bersih dengan kebersihan udara yang berbeza tidak boleh kurang daripada 5Pa.
3. Jumlah udara segar di dalam bilik bersih elektronik kelas 10000 hendaklah mengambil nilai dua item berikut.
4. Gantikan jumlah isipadu udara ekzos dalaman dan isipadu udara segar yang diperlukan untuk mengekalkan nilai tekanan positif dalaman.
5. Pastikan jumlah udara segar yang dibekalkan ke bilik bersih setiap orang sejam tidak kurang daripada 40 meter persegi.
Masa siaran: 08-Apr-2024
