Sebagai tambahan kepada kawalan ketat zarah, bilik bersih elektronik yang diwakili oleh bengkel pengeluaran cip, bengkel bebas habuk litar bersepadu dan bengkel pembuatan cakera juga mempunyai keperluan yang lebih ketat untuk kawalan suhu dan kelembapan, pencahayaan dan kejutan mikro. Ketat menghapuskan kesan elektrik statik pada produk pengeluaran, supaya persekitaran dapat memenuhi keperluan proses pengeluaran produk elektronik dalam persekitaran yang bersih.
Suhu dan kelembapan bilik bersih elektronik harus ditentukan mengikut keperluan proses pengeluaran. Apabila tiada keperluan khusus untuk proses pengeluaran, suhu boleh menjadi 20-26 ° C dan kelembapan relatif adalah 30%-70%. Suhu bilik bersih kakitangan dan ruang tamu boleh menjadi 16-28 ℃. Menurut Standard Kebangsaan China GB-50073, yang selaras dengan piawaian ISO antarabangsa, tahap kebersihan ruang bersih jenis ini adalah 1-9. Antaranya, Kelas 1-5, corak aliran udara adalah aliran satu arah atau aliran campuran; Corak aliran udara Kelas 6 adalah aliran tidak bersatu dan perubahan udara adalah 50-60 kali/h; Jenis aliran udara Kelas 7 adalah aliran bukan pengadil, dan perubahan udara adalah 15-25 kali/h; Kelas 8-9 Jenis aliran udara adalah aliran bukan pengiktirafan, perubahan udara adalah 10-15 kali/h.
Menurut spesifikasi semasa, tahap bunyi dalam kelas 10,000 bilik bersih elektronik tidak boleh lebih besar daripada 65dB (a).
1. Nisbah penuh ruang bersih aliran menegak di bilik bersih elektronik tidak boleh kurang daripada 60%, dan bilik bersih aliran unidirectional mendatar tidak seharusnya kurang daripada 40%, jika tidak, ia akan menjadi aliran unidirectional separa.
2. Perbezaan tekanan statik di antara bilik bersih elektronik dan di luar tidak boleh kurang daripada 10Pa, dan perbezaan tekanan statik antara kawasan bersih dan kawasan yang tidak bersih dengan kebersihan udara yang berbeza tidak seharusnya kurang daripada 5Pa.
3. Jumlah udara segar di bilik bersih Kelas 10000 Elektronik harus mengambil nilai dua item berikut.
4. Mengimbangi jumlah jumlah udara ekzos dalaman dan jumlah udara segar yang diperlukan untuk mengekalkan nilai tekanan positif dalaman.
5. Pastikan jumlah udara segar yang dibekalkan untuk membersihkan bilik setiap orang sejam tidak kurang daripada 40 meter persegi.
Masa Post: Apr-08-2024