1. Penyingkiran zarah habuk di bilik bersih bebas habuk
Fungsi utama bilik bersih adalah untuk mengawal kebersihan, suhu dan kelembapan atmosfera produk (seperti cip silikon, dan lain -lain) terdedah kepada, supaya produk dapat dihasilkan dan dihasilkan di ruang persekitaran yang baik. Kami memanggil ruang ini sebagai bilik yang bersih. Menurut amalan antarabangsa, tahap kebersihan terutamanya ditentukan oleh bilangan zarah per meter padu udara dengan diameter lebih besar daripada standard klasifikasi. Dalam erti kata lain, apa yang dipanggil habuk bebas tidak 100% bebas habuk, tetapi dikawal dalam unit yang sangat kecil. Sudah tentu, zarah-zarah yang memenuhi standard habuk dalam standard ini sudah sangat kecil berbanding dengan habuk biasa yang kita lihat, tetapi untuk struktur optik, bahkan sedikit habuk akan mempunyai kesan negatif yang sangat besar, jadi bebas habuk adalah keperluan yang tidak dapat dielakkan Dalam pengeluaran produk struktur optik.
Mengawal bilangan zarah debu dengan saiz zarah yang lebih besar daripada atau sama dengan 0.5 mikron setiap meter padu hingga kurang daripada 3520/meter padu akan mencapai Kelas A dari standard bebas habuk antarabangsa. Standard bebas habuk yang digunakan dalam pengeluaran dan pemprosesan peringkat cip mempunyai keperluan yang lebih tinggi untuk habuk daripada Kelas A, dan standard yang tinggi terutamanya digunakan dalam pengeluaran beberapa cip peringkat tinggi. Bilangan zarah debu dikawal ketat pada 35,200 setiap meter padu, yang biasanya dikenali sebagai Kelas B dalam industri bilik bersih.
2. Tiga jenis bilik bilik bersih
Bilik Bersih Kosong: Kemudahan bilik bersih yang telah dibina dan boleh digunakan. Ia mempunyai semua perkhidmatan dan fungsi yang berkaitan. Walau bagaimanapun, tiada peralatan yang dikendalikan oleh pengendali di kemudahan itu.
Bilik Bersih Statik: Kemudahan bilik yang bersih dengan fungsi lengkap, tetapan dan pemasangan yang betul, yang boleh digunakan mengikut tetapan atau digunakan, tetapi tidak ada pengendali di kemudahan itu.
Bilik Bersih Dinamik: Bilik yang bersih dalam kegunaan biasa, dengan fungsi perkhidmatan lengkap, peralatan dan kakitangan; Sekiranya perlu, kerja biasa boleh dijalankan.
3. Item kawalan
(1). Boleh mengeluarkan zarah debu yang terapung di udara.
(2). Boleh menghalang penjanaan zarah debu.
(3). Kawalan suhu dan kelembapan.
(4). Peraturan tekanan.
(5). Penghapusan gas berbahaya.
(6). Ketegangan udara struktur dan petak.
(7). Pencegahan elektrik statik.
(8). Pencegahan gangguan elektromagnet.
(9). Pertimbangan faktor keselamatan.
(10). Pertimbangan penjimatan tenaga.
4. Klasifikasi
Jenis aliran bergelora
Udara memasuki bilik bersih dari kotak penghawa dingin melalui saluran udara dan penapis udara (HEPA) di bilik bersih, dan dikembalikan dari panel dinding partition atau lantai tinggi di kedua -dua belah bilik bersih. Aliran udara tidak bergerak secara linear tetapi membentangkan keadaan bergelora atau eddy yang tidak teratur. Jenis ini sesuai untuk kelas 1,000-100,000 bilik bersih.
Definisi: Bilik bersih di mana aliran udara mengalir pada kelajuan yang tidak sekata dan tidak selari, disertai dengan aliran balik atau arus eddy.
Prinsip: Bilik -bilik bersih bergelora bergantung pada aliran udara bekalan udara untuk terus mencairkan udara dalaman dan secara beransur -ansur mencairkan udara yang tercemar untuk mencapai kebersihan (bilik -bilik bersih bergelora biasanya direka pada tahap kebersihan melebihi 1,000 hingga 300,000).
Ciri -ciri: Bilik -bilik bersih bergelora bergantung pada pelbagai pengudaraan untuk mencapai tahap kebersihan dan kebersihan. Bilangan perubahan pengudaraan menentukan tahap pemurnian dalam definisi (perubahan pengudaraan yang lebih tinggi, semakin tinggi tahap kebersihan)
(1) Masa Pemberitahuan Sendiri: Merujuk kepada masa apabila bilik bersih mula membekalkan udara ke bilik bersih mengikut nombor pengudaraan yang direka dan kepekatan habuk di dalam bilik mencapai kelas kebersihan yang direka bentuk 1,000 dijangka tidak lagi daripada 20 minit (15 minit boleh digunakan untuk pengiraan) kelas 10,000 dijangka tidak melebihi 30 minit (25 minit boleh digunakan untuk pengiraan) kelas 100,000 dijangka tidak melebihi 40 minit (30 minit boleh digunakan untuk pengiraan)
(2) Kekerapan pengudaraan (direka mengikut keperluan masa pembersihan diri di atas) Kelas 1,000: 43.5-55.3 kali/jam (standard: 50 kali/jam) Kelas 10,000: 23.8-28.6 kali/jam (Standard: 25 kali/jam ) Kelas 100,000: 14.4-19.2 kali/jam (Standard: 15 kali/jam)
Kelebihan: Struktur mudah, kos pembinaan sistem yang rendah, mudah untuk mengembangkan bilik bersih, di beberapa tempat tujuan khas, bangku bersih bebas habuk boleh digunakan untuk meningkatkan gred bilik bersih.
Kekurangan: Zarah -zarah habuk yang disebabkan oleh pergolakan terapung di ruang dalaman dan sukar untuk dilepaskan, yang mudah mencemarkan produk proses. Di samping itu, jika sistem dihentikan dan kemudian diaktifkan, ia sering mengambil masa yang lama untuk mencapai kebersihan yang diperlukan.
Aliran laminar
Udara aliran laminar bergerak dalam garis lurus seragam. Udara memasuki bilik melalui penapis dengan kadar liputan 100% dan dikembalikan melalui lantai yang tinggi atau papan partition di kedua -dua belah pihak. Jenis ini sesuai untuk digunakan dalam persekitaran bilik bersih dengan gred bilik bersih yang lebih tinggi, umumnya kelas 1 ~ 100. Terdapat dua jenis:
(1) Aliran laminar mendatar: Udara mendatar ditiup dari penapis dalam satu arah dan dikembalikan oleh sistem udara kembali di dinding yang bertentangan. Debu dilepaskan di luar rumah dengan arah udara. Umumnya, pencemaran lebih serius di bahagian hiliran.
Kelebihan: Struktur mudah, boleh menjadi stabil dalam masa yang singkat selepas operasi.
Kekurangan: Kos pembinaan lebih tinggi daripada aliran bergelora, dan ruang dalaman tidak mudah berkembang.
(2) Aliran laminar menegak: Siling bilik sepenuhnya ditutup dengan penapis ULPA, dan udara ditiup dari atas ke bawah, yang dapat mencapai kebersihan yang lebih tinggi. Debu yang dihasilkan semasa proses atau oleh kakitangan boleh dengan cepat dilepaskan di luar rumah tanpa menjejaskan kawasan kerja lain.
Kelebihan: Mudah dikendalikan, keadaan stabil dapat dicapai dalam masa yang singkat selepas operasi bermula, dan tidak mudah dipengaruhi oleh negara atau pengendali operasi.
Kekurangan: Kos pembinaan yang tinggi, sukar untuk menggunakan ruang, penggantung siling secara fleksibel menduduki banyak ruang, dan menyusahkan untuk membaiki dan menggantikan penapis.
Jenis Komposit
Jenis komposit adalah untuk menggabungkan atau menggunakan jenis aliran bergelora dan jenis aliran laminar bersama-sama, yang dapat menyediakan udara ultra-bersih tempatan.
(1) Terowong Bersih: Gunakan penapis HEPA atau ULPA untuk menampung 100% kawasan proses atau kawasan kerja untuk meningkatkan tahap kebersihan ke atas Kelas 10, yang dapat menjimatkan kos pemasangan dan operasi.
Jenis ini memerlukan kawasan kerja pengendali untuk diasingkan dari penyelenggaraan produk dan mesin untuk mengelakkan mempengaruhi kerja dan kualiti semasa penyelenggaraan mesin.
Terowong bersih mempunyai dua kelebihan lain: A. Mudah untuk berkembang dengan fleksibel; B. Penyelenggaraan peralatan boleh dilakukan dengan mudah di kawasan penyelenggaraan.
(2) tiub bersih: mengelilingi dan membersihkan garisan pengeluaran automatik di mana aliran produk berlalu, dan meningkatkan tahap kebersihan ke atas kelas 100. Oleh kerana produk, pengendali dan persekitaran penjanaan habuk diasingkan antara satu sama lain, sejumlah kecil Bekalan udara boleh mencapai kebersihan yang baik, yang dapat menjimatkan tenaga dan paling sesuai untuk barisan pengeluaran automatik yang tidak memerlukan buruh manual. Ia boleh digunakan untuk industri farmaseutikal, makanan dan semikonduktor.
(3) Tempat Bersih: Tahap kebersihan kawasan proses produk di bilik bersih bergelora dengan tahap bilik bersih 10,000 ~ 100,000 ditingkatkan kepada 10 ~ 1000 atau lebih tinggi untuk tujuan pengeluaran; Kerja kerja bersih, gudang bersih, bilik bersih pasang siap, dan almari bersih tergolong dalam kategori ini.
Bangku Bersih: Kelas 1 ~ 100.
Gerai Bersih: Ruang kecil yang dikelilingi oleh kain plastik telus anti-statik di ruang bilik bersih bergolak, menggunakan hepa bebas atau ulpa dan unit penghawa dingin untuk menjadi ruang bersih peringkat tinggi, dengan tahap 10 ~ 1000, ketinggian kira-kira 2.5 meter, dan kawasan liputan kira -kira 10m2 atau kurang. Ia mempunyai empat tiang dan dilengkapi dengan roda bergerak untuk kegunaan fleksibel.
5. Aliran aliran udara
Kepentingan aliran udara
Kebersihan bilik yang bersih sering terjejas oleh aliran udara. Dalam erti kata lain, pergerakan dan penyebaran habuk yang dihasilkan oleh orang, petak mesin, struktur bangunan, dan lain -lain dikawal oleh aliran udara.
Bilik bersih menggunakan HEPA dan ULPA untuk menapis udara, dan kadar pengumpulan habuknya setinggi 99.97 ~ 99.99995%, jadi udara yang ditapis oleh penapis ini boleh dikatakan sangat bersih. Walau bagaimanapun, sebagai tambahan kepada orang ramai, terdapat juga sumber debu seperti mesin di bilik bersih. Sebaik sahaja debu yang dihasilkan ini tersebar, adalah mustahil untuk mengekalkan ruang yang bersih, jadi aliran udara mesti digunakan untuk cepat melepaskan habuk yang dihasilkan di luar rumah.
Mempengaruhi faktor
Terdapat banyak faktor yang mempengaruhi aliran udara bilik yang bersih, seperti peralatan proses, kakitangan, bahan perhimpunan bilik bersih, lekapan pencahayaan, dan lain -lain. Pada masa yang sama, titik pengalihan aliran udara di atas peralatan pengeluaran juga harus diambil ke dalam pertimbangan.
Titik lencongan aliran udara di permukaan meja operasi umum atau peralatan pengeluaran hendaklah ditetapkan pada 2/3 jarak antara ruang bilik bersih dan papan partition. Dengan cara ini, apabila pengendali bekerja, aliran udara boleh mengalir dari bahagian dalam kawasan proses ke kawasan operasi dan mengambil habuk; Jika titik lencongan dikonfigurasikan di hadapan kawasan proses, ia akan menjadi lencongan aliran udara yang tidak betul. Pada masa ini, kebanyakan aliran udara akan mengalir ke belakang kawasan proses, dan habuk yang disebabkan oleh operasi pengendali akan dibawa ke belakang peralatan, dan meja kerja akan tercemar, dan hasilnya tidak dapat dielakkan.
Halangan seperti meja kerja di bilik bersih akan mempunyai arus eddy di persimpangan, dan kebersihan di dekatnya akan agak miskin. Penggerudian lubang udara kembali di meja kerja akan meminimumkan fenomena semasa eddy; Sama ada pemilihan bahan pemasangan adalah sesuai dan sama ada susun atur peralatan adalah sempurna juga faktor penting sama ada aliran udara menjadi fenomena semasa eddy.
6. Komposisi bilik bersih
Komposisi bilik bersih terdiri daripada sistem berikut (tidak ada yang diperlukan dalam molekul sistem), jika tidak, tidak mungkin untuk membentuk bilik bersih yang lengkap dan berkualiti tinggi:
(1) Sistem siling: termasuk rod siling, I-rasuk atau u-beam, grid siling atau bingkai siling.
(2) Sistem penghawa dingin: termasuk kabin udara, sistem penapis, kincir angin, dll.
(3) Dinding Partisi: termasuk tingkap dan pintu.
(4) Lantai: termasuk lantai tinggi atau lantai anti-statik.
(5) Lekapan pencahayaan: LED PEMULIHAN LIGHT FLAT.
Struktur utama bilik bersih biasanya diperbuat daripada bar keluli atau simen tulang, tetapi tidak kira apa jenis strukturnya, ia mesti memenuhi syarat -syarat berikut:
A. Tiada retak akan berlaku kerana perubahan suhu dan getaran;
B. Ia tidak mudah untuk menghasilkan zarah debu, dan sukar bagi zarah untuk dilampirkan;
C. hygroscopicity rendah;
D. Untuk mengekalkan keadaan kelembapan di bilik bersih, penebat haba mestilah tinggi;
7. Klasifikasi dengan Penggunaan
Bilik Bersih Perindustrian
Kawalan zarah mati adalah objek. Ia terutamanya mengawal pencemaran zarah debu udara ke objek kerja, dan pedalaman umumnya mengekalkan keadaan tekanan positif. Ia sesuai untuk industri jentera ketepatan, industri elektronik (semikonduktor, litar bersepadu, dan lain-lain), industri aeroangkasa, industri kimia kemuliaan tinggi, industri tenaga atom, industri produk optik dan magnet (CD, filem, pengeluaran pita) LCD (CRICHAL CRICHAL kaca), cakera keras komputer, pengeluaran kepala komputer dan industri lain.
Bilik bersih biologi
Terutamanya mengawal pencemaran zarah hidup (bakteria) dan zarah tidak bernyawa (habuk) ke objek kerja. Ia boleh dibahagikan kepada;
A. Bilik Bersih Biologi Umum: Terutamanya mengawal pencemaran objek mikrob (bakteria). Pada masa yang sama, bahan dalamannya mesti dapat menahan hakisan pelbagai agen yang mensterilkan, dan pedalaman umumnya menjamin tekanan positif. Pada asasnya, bahan -bahan dalaman mesti dapat menahan pelbagai rawatan pensterilan bilik bersih perindustrian. Contoh: Industri farmaseutikal, hospital (bilik operasi, wad steril), makanan, kosmetik, pengeluaran produk minuman, makmal haiwan, makmal ujian fizikal dan kimia, stesen darah, dll.
B. Bilik Keselamatan Keselamatan Biologi: Terutamanya mengawal pencemaran zarah hidup objek kerja ke dunia dan orang luar. Tekanan dalaman mesti dikekalkan negatif dengan atmosfera. Contoh: Bakteriologi, Biologi, Makmal Bersih, Kejuruteraan Fizikal (Gen Rekombinan, Penyediaan Vaksin)
Masa Post: Feb-07-2025